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Education guides to vacuum coating processing /

Mattox, Donald M.

Education guides to vacuum coating processing / written by Donald M. Mattox. - Albuquerque, Nwe México, U.S.A. : Society of Vacuum Coaters, c2009. - 222 p. : il., gráf., tablas ; 28 cm

Tabla de contenidos: al comenzar el libro. Sobre el autor: en contratapa.

Referencias bibliográficas: al finalizar cada capítulo.

Introduction. Materials science. Vacuum technology. Plasma technology. Surface preparation. Vacuum evaporation. Sputter deposition. Arc vapor deposition. Ion plating. Low-pressure CVD and PECVD. Atomistic film growth and resulting film properties. Postdeposition processing. Surface and film characterization. Applications. Safety.

Esta publicación contiene 109 guías individuales, independientes, de dos páginas sobre diferentes aspectos del equipo y la tecnología asociados con el procesamiento de recubrimiento al vacío por deposición física de vapor.

Técnicos.


En inglés.

9781878068286


Tratamiento de superficie
Ciencia de materiales
Recubrimiento al vacío
Plasma
Recubrimiento PVD
Deposición catódica
PECVD -baja presión
CVD
Procesamiento al vacío-seguridad
Desgaste
Deposición atomística

620.197:667.63
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