TY  - BOOK
AU  - Mattox,Donald M.
TI  - Education guides to vacuum coating processing / 
SN  - 9781878068286
PY  - 2009///
CY  - Albuquerque, Nwe México, U.S.A. : 
PB  - Society of Vacuum Coaters
KW  - Tratamiento de superficie
KW  - Ciencia de materiales
KW  - Recubrimiento al vacío
KW  - Plasma
KW  - Recubrimiento PVD
KW  - Deposición catódica
KW  - PECVD -baja presión
KW  - CVD
KW  - Procesamiento al vacío-seguridad
KW  - Desgaste
KW  - Deposición atomística
N1  - Tabla de contenidos: al comenzar el libro; Sobre el autor: en contratapa; Referencias bibliográficas: al finalizar cada capítulo; Introduction; Materials science; Vacuum technology; Plasma technology; Surface preparation; Vacuum evaporation; Sputter deposition; Arc vapor deposition; Ion plating; Low-pressure CVD and PECVD; Atomistic film growth and resulting film properties; Postdeposition processing; Surface and film characterization; Applications; Safety; Técnicos
N2  - Esta publicación contiene 109 guías individuales, independientes, de dos páginas sobre diferentes aspectos del equipo y la tecnología asociados con el procesamiento de recubrimiento al vacío por deposición física de vapor.
ER  -