000			04069nam a22007214a 4500
001			CUUTN000001
003			AR-CuUTN
005			20250521221550.0
007			ta
008			191210s2001 us addof 001 0 eng d
020			_a087170692X
040			_aAR-CuUTN _bspa _cAR-CuUTN _eaacr2 _eisbd
041	0		_aeng
080	0		_a621.793/.795 _22000
245	0	0	_aChemical vapor deposition / _cedited by Jong-Hee Park, T. S. Sudarshan.
250			_a1a ed.
260			_aUnited States of America : _bASM International, _c2001.
300			_avii; 481 p. : _bil., gráf., fot., tablas ; _c26 cm
336			_2rdacontent _atexto _btxt
337			_2rdamedia _asin mediación _bn
338			_2rdacarrier _avolumen _bnc
490	0		_aSurface Engineering Series ; _vv. 2.
500			_aContenido: p. v-vi.
500			_aÍndice temático: p. 465-480.
500			_aÍndice de autores: p. 481.
504			_aBibliografía al finalizar cada capítulo.
505	0		_aChap. 1. Introduction to chemical vapor deposition (CVD).
505	0		_aCahp. 2. Basic principles of CVD Thermodynamics and kintecs.
505	0		_aChap. 3. Stresses and mechanical stability of CVD Thin Films.
505	0		_aChap. 4. Combustion chemical vapor deposition (CCVD).
505	0		_aChap. 5. Polarized electrochemical vapor deposition.
505	0		_aChap. 6. Chemical vapor infiltration: optimization of processing conditions.
505	0		_aChap. 7. Metal-organic chemical vapor deposition of high dielectric (Ba, Sr) TiO3. Thin films for dynamic random access memory applications.
505	0		_aChap. 8. Chemical vapor deposition of polymers: principles, materials, and applications.
505	0		_aChap. 9. CVD of metals: the case of nickel.
505	0		_aChap. 10. CVD Diamond, diamond-like carbon, and carbonitride coatings.
505	0		_aChap. 11. CVD diamond films in tribological applications.
505	0		_aChap. 12. CVD films for electrical insulation.
505	0		_aChap. 13. CVD films for corrosion protection coatings.
505	0		_aChap. 14. Heat treatment of CVD-coated tool steels.
520	3		_aLa deposición química de vapores (CVD) se utiliza generalmente en la tecnología de procesamiento de materiales. La mayoría de las aplicaciones implica la aplicación de recubrimientos sólidos de película delgada a superficies, pero también se utiliza para producir materiales a granel y polvos de alta pureza, así como para fabricar compuestos. El propósito de este libro de tecnología de CVD es proveer información práctica de referencia, guías prácticas e información de aplicación sobre importantes tecnologías de ingeniería de superficies, para el diseño, desarrollo y fabricación. Este libro intenta ser un manual de referencia general para principiantes y experimentados en el uso de procesos con CVD.
521			_aPara ingenieros en ejercicio, tecnólogos de investigación y desarrollo, estudiantes de posgrado y pregrado avanzado.
546			_aObra en idioma inglés.
653	1		_aIngeniería de superficies
653	2		_aDeposición química de vapor
653	2		_aDeposición química de vapor-termodinámica
653	2		_aDeposición química de vapor-cinética
653	2		_aDeposición química de vapor-tensiones
653	2		_aDeposición química de vapor por combustión
653	2		_aInfiltración de vapor químico
653	2		_aDeposición química de vapor de metal orgánico
653	2		_aDeposición química de vapor de polímeros
653	2		_aDeposición química de vapor de metales
653	2		_aDeposición química de vapor de diamantes
653	2		_aDeposición química de vapor para aplicaciones tribológicas
653	2		_aDeposición química de vapor para aislante eléctrico
653	2		_aDeposición química de vapor-protección corrosión
653	2		_aDeposición química de vapor-tratamiento térmico de aceros
700	1		_96200 _aPark, Jong-Hee _d1951- _eeditor
700	1		_97913 _aSudarshan, T. S. _d1955- _eeditor
942			_cBK _2udc
945			_aSMPH
999			_c3070 _d3070